Отрывок: В дальнейшем, с помощью передовых технологий литографии, возможно еще сильнее уменьшить минимальные размеры таких массивов чувствительных элементов. При помощи 193 нм иммерсионной литографии потенциально возможно достичь разрешения 70-80 нм на 200 мм пластинах с 15 нм слоем. 1.3 Термохимические детекторы Термохимические датчики для газовых сенсоров широко используются с 60 годов прошлого века [18]. Известные термохимические детекторы обладают...
Название : Детектор для газовой хроматографии на основе микроэлектромеханических систем
Авторы/Редакторы : Никифоров М. В.
Платонов В. И.
Новикова Е. А.
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Естественнонаучный институт
Дата публикации : 2019
Библиографическое описание : Никифоров, М. В. Детектор для газовой хроматографии на основе микроэлектромеханических систем : вып. квалификац. работа по направлению подготовки "Наноинженерия" (уровень бакалавриата) / М. В. Никифоров ; рук. работы В. И. Платонов; нормоконтролер Е. А. Новикова ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. - Самаpа, 2019. - on-line
Аннотация : Целью выпускной квалификационной работы является сравнительное исследование термохимических детекторов проволочного и интегрального типов в условиях газовой хроматографии. В результате проведенной работы были определены среднеквадратичные отклонения по величинам площадей, высот и времен удерживания хроматографических пиков для термохимических детекторов проволочного и интегрального типов: среднее отклонение по площади пика 0,46% для проволочного и 0,56% для интегрального. Проведено исследование пределов детектирования термохимических детекторов проволочного и интегрального типов: чувствительность для ТХД 4,7×10 11 г/см3, а для МТХД 5×10 11 г/ см3. Проведено сравнительное исследование инерционности термохимических детекторов проволочного и интегрального типов: у МТХД фактор разрешения метан/этан и изобутан/бутан больше, чем на ТХД соответственно на 4,8% и на 16,2%. Расчетные эффективности разделения веществ на МТХД оказались выше, чем на ТХД на 1,7 17,4%.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20190806110901
Ключевые слова: детекторы
сенсоры
газовая хроматография
МЭМС - датчики
микродетекторы
термохимический детектор (ТХД)
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы




Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.