Отрывок: В дальнейшем, с помощью передовых технологий литографии, возможно еще сильнее уменьшить минимальные размеры таких массивов чувствительных элементов. При помощи 193 нм иммерсионной литографии потенциально возможно достичь разрешения 70-80 нм на 200 мм пластинах с 15 нм слоем. 1.3 Термохимические детекторы Термохимические датчики для газовых сенсоров широко используются с 60 годов прошлого века [18]. Известные термохимические детекторы обладают...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorНикифоров М. В.ru
dc.contributor.authorПлатонов В. И.ru
dc.contributor.authorНовикова Е. А.ru
dc.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorЕстественнонаучный институтru
dc.coverage.spatialдетекторыru
dc.coverage.spatialсенсорыru
dc.coverage.spatialгазовая хроматографияru
dc.coverage.spatialМЭМС - датчикиru
dc.coverage.spatialмикродетекторыru
dc.coverage.spatialтермохимический детектор (ТХД)ru
dc.creatorНикифоров М. В.ru
dc.date.issued2019ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20190806110901ru
dc.identifier.citationНикифоров, М. В. Детектор для газовой хроматографии на основе микроэлектромеханических систем : вып. квалификац. работа по направлению подготовки "Наноинженерия" (уровень бакалавриата) / М. В. Никифоров ; рук. работы В. И. Платонов; нормоконтролер Е. А. Новикова ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. - Самаpа, 2019. - on-lineru
dc.description.abstractЦелью выпускной квалификационной работы является сравнительное исследование термохимических детекторов проволочного и интегрального типов в условиях газовой хроматографии. В результате проведенной работы были определены среднеквадратичные отклонения по величинам площадей, высот и времен удерживания хроматографических пиков для термохимических детекторов проволочного и интегрального типов: среднее отклонение по площади пика 0,46% для проволочного и 0,56% для интегрального. Проведено исследование пределов детектирования термохимических детекторов проволочного и интегрального типов: чувствительность для ТХД 4,7×10 11 г/см3, а для МТХД 5×10 11 г/ см3. Проведено сравнительное исследование инерционности термохимических детекторов проволочного и интегрального типов: у МТХД фактор разрешения метан/этан и изобутан/бутан больше, чем на ТХД соответственно на 4,8% и на 16,2%. Расчетные эффективности разделения веществ на МТХД оказались выше, чем на ТХД на 1,7 17,4%.ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 1,6 Мб)ru
dc.titleДетектор для газовой хроматографии на основе микроэлектромеханических системru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti31.19ru
dc.subject.udc543.544ru
dc.textpartВ дальнейшем, с помощью передовых технологий литографии, возможно еще сильнее уменьшить минимальные размеры таких массивов чувствительных элементов. При помощи 193 нм иммерсионной литографии потенциально возможно достичь разрешения 70-80 нм на 200 мм пластинах с 15 нм слоем. 1.3 Термохимические детекторы Термохимические датчики для газовых сенсоров широко используются с 60 годов прошлого века [18]. Известные термохимические детекторы обладают...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Никифоров_Максим_Владиславович_Детектор_газовой_хроматографии.pdf1.66 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.