Отрывок: Следующее устройство, построенное с применением МЭМС технологий, это МЭМС-транспортер, состоящий из массива микроскопических ресничек. Реснички упругие и в «выключенном» состоянии они отогнуты от основания. Чтобы притянуть их к подложке, используется электростатическое притяжение, по такому же принципу как в DMD – чипах. Также в эти подвижные микроэлементы встроен терморезистор, за счет нагрева изменяющий упругость реснич...
Название : | Изготовление МЕМС структур в объеме кремниевой пластины |
Авторы/Редакторы : | Пунин К. В. Володкин Б. О. Братченко И. А. Министерство образования и науки Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) |
Дата публикации : | 2017 |
Библиографическое описание : | Пунин, К. В. Изготовление МЕМС структур в объеме кремниевой пластины : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / К. В. Пунин ; рук. работы Б. О. Володкин; рец. И. А. Братченко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Фак-т электроники и приборостроения. - Самара, 2017. - on-line |
Аннотация : | Цель работы – исследование существующих методов травления кремния и травление кремниевой пластины для создания МЭМС устройства.Исходя из представленной цели, были поставлены следующие задачи: 1. Провести анализ литературы по существующим методам получения МЭМС структур.2.Осуществить подбор технологических параметров процесса плазмохимического травления для получения МЭМС структур заданной топологии.3. Проведение эксперимента травления кремниевой пластины с помощью Bosch процесса. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20171214154724 |
Ключевые слова: | плазмохимическое травление анизотропное травление кремнием кремниевые пластины BOSCH процессы МЕМС структуры |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Пунин_Кирилл_Владимирович_Изготовление_МЕМС_структур.pdf | 2.35 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.