Отрывок: Следующее устройство, построенное с применением МЭМС технологий, это МЭМС-транспортер, состоящий из массива микроскопических ресничек. Реснички упругие и в «выключенном» состоянии они отогнуты от основания. Чтобы притянуть их к подложке, используется электростатическое притяжение, по такому же принципу как в DMD – чипах. Также в эти подвижные микроэлементы встроен терморезистор, за счет нагрева изменяющий упругость реснич...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Пунин К. В. | ru |
dc.contributor.author | Володкин Б. О. | ru |
dc.contributor.author | Братченко И. А. | ru |
dc.contributor.author | Министерство образования и науки Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.coverage.spatial | плазмохимическое травление | ru |
dc.coverage.spatial | анизотропное травление кремнием | ru |
dc.coverage.spatial | кремниевые пластины | ru |
dc.coverage.spatial | BOSCH процессы | ru |
dc.coverage.spatial | МЕМС структуры | ru |
dc.creator | Пунин К. В. | ru |
dc.date.issued | 2017 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20171214154724 | ru |
dc.identifier.citation | Пунин, К. В. Изготовление МЕМС структур в объеме кремниевой пластины : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / К. В. Пунин ; рук. работы Б. О. Володкин; рец. И. А. Братченко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Фак-т электроники и приборостроения. - Самара, 2017. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Цель работы – исследование существующих методов травления кремния и травление кремниевой пластины для создания МЭМС устройства.Исходя из представленной цели, были поставлены следующие задачи: 1. Провести анализ литературы по существующим методам получения МЭМС структур.2.Осуществить подбор технологических параметров процесса плазмохимического травления для получения МЭМС структур заданной топологии.3. Проведение эксперимента травления кремниевой пластины с помощью Bosch процесса. | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 2,3 Мб) | ru |
dc.title | Изготовление МЕМС структур в объеме кремниевой пластины | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 47.59.49 | ru |
dc.subject.udc | 621.382 | ru |
dc.textpart | Следующее устройство, построенное с применением МЭМС технологий, это МЭМС-транспортер, состоящий из массива микроскопических ресничек. Реснички упругие и в «выключенном» состоянии они отогнуты от основания. Чтобы притянуть их к подложке, используется электростатическое притяжение, по такому же принципу как в DMD – чипах. Также в эти подвижные микроэлементы встроен терморезистор, за счет нагрева изменяющий упругость реснич... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Пунин_Кирилл_Владимирович_Изготовление_МЕМС_структур.pdf | 2.35 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.