Отрывок: Измерение толщины плёнок было проведено на интерферометре белого света «WLI-DMR» (производство Института Фраунгофера, г. Йена, Германия) по сдвигу интерференционных полос на краю покрытия. Для проведения исследований данным методом на поверхности подложки необходимо созда...
Название : | Исследование свойств тонких резистивных пленок хрома |
Авторы/Редакторы : | Вершков Д. А. Архипов А. В. Лофицкий И. В. Министерство образования и науки Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2017 |
Библиографическое описание : | Вершков, Д. А. Исследование свойств тонких резистивных пленок хрома : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Д. А. Вершков ; рук. работы А. В. Архипов; рец. И. В. Лофицкий ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и элек. - Самара, 2017. - on-line |
Аннотация : | Цель работы - исследование изменения свойств тонких резистивных пленок хрома в зависимости от их толщины.Для решения поставленных задач были применены следующие методы: четырехзондовый метод измерения поверхностного сопротивления, метод интерферометрии, метод атомно-силовой микроскопии.Экспериментально установлено, что с уменьшением толщины пленки, ее электрическое сопротивление может превышать сопротивление массивных металлов на порядок и более. При толщинах менее 10 нм происходит потеря сплошности пленки.Определено, что размер кристаллитов зависит от масштабного фактора-толщины пленки.При повышенных температурах происходит деградация хромовых тонких пленок за счет их интенсивного окисления. Зависимость сопротивления пленок от времени нагрева имеет параболический вид. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20171215113621 |
Ключевые слова: | кристаллиты магнетронное распыление тонкие пленки четырехзондовый метод деградация границы зерен удельное сопротивление |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Вершков_Денис_Андреевич_Исследование_свойств_тонких_резистивных.pdf | 2.14 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.