Отрывок: Но известно, что высоко активные атомы кислорода и фтора между собой не взаимодействуют [4]. Таким образом, фтор по химической активности в соединениях не уступает кислороду и способен замещать его атомы. Секция 7. Электроника и приборостроение 381 Для создания гидрофобной поверхности нами предложен способ включает такие операции по очистке кремниевых подложек: - органические загр...
Название : | Сканирующая электронная микроскопия в технологии очистки кремниевых подложки |
Авторы/Редакторы : | Абдулхаликова К. К. |
Дата публикации : | 2019 |
Библиографическое описание : | Абдулхаликова, К. К. Сканирующая электронная микроскопия в технологии очистки кремниевых подложки / К. К. Абдулхаликова // XV Королевские чтения [Электронный ресурс] : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 100-летию со дня рождения Д. И. Козлова : сб. тр. : 8-10 окт. 201 / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; [науч. ред. М. А. Шлеенков]. - 2019. - Т. 1. - С. 380-381 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\430448 |
Ключевые слова: | кремниевые подложки очистка подложек сканирующая микроскопия электронная микроскопия чистота поверхности |
Располагается в коллекциях: | Королевские чтения |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
XV Королевские чтения 2019 Том 1-380-381.pdf | 625.05 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.