Отрывок: Но известно, что высоко активные атомы кислорода и фтора между собой не взаимодействуют [4]. Таким образом, фтор по химической активности в соединениях не уступает кислороду и способен замещать его атомы. Секция 7. Электроника и приборостроение 381 Для создания гидрофобной поверхности нами предложен способ включает такие операции по очистке кремниевых подложек: - органические загр...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Абдулхаликова К. К. | ru |
dc.coverage.spatial | кремниевые подложки | ru |
dc.coverage.spatial | очистка подложек | ru |
dc.coverage.spatial | сканирующая микроскопия | ru |
dc.coverage.spatial | электронная микроскопия | ru |
dc.coverage.spatial | чистота поверхности | ru |
dc.creator | Абдулхаликова К. К. | ru |
dc.date.issued | 2019 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\430448 | ru |
dc.identifier.citation | Абдулхаликова, К. К. Сканирующая электронная микроскопия в технологии очистки кремниевых подложки / К. К. Абдулхаликова // XV Королевские чтения [Электронный ресурс] : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 100-летию со дня рождения Д. И. Козлова : сб. тр. : 8-10 окт. 201 / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; [науч. ред. М. А. Шлеенков]. - 2019. - Т. 1. - С. 380-381 | ru |
dc.relation.ispartof | XV Королевские чтения [Электронный ресурс] : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 100-летию со дня рождения Д. И. Козлова : сб. тр. : 8-10 окт. 201 | ru |
dc.source | XV Королевские чтения. - Т. 1 | ru |
dc.title | Сканирующая электронная микроскопия в технологии очистки кремниевых подложки | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.citation.epage | 381 | ru |
dc.citation.spage | 380 | ru |
dc.citation.volume | 1 | ru |
dc.textpart | Но известно, что высоко активные атомы кислорода и фтора между собой не взаимодействуют [4]. Таким образом, фтор по химической активности в соединениях не уступает кислороду и способен замещать его атомы. Секция 7. Электроника и приборостроение 381 Для создания гидрофобной поверхности нами предложен способ включает такие операции по очистке кремниевых подложек: - органические загр... | - |
Располагается в коллекциях: | Королевские чтения |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
XV Королевские чтения 2019 Том 1-380-381.pdf | 625.05 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.