Отрывок: Чем тоньше поверхностная плёнка Si, тем меньше при лазерном термохимическом нагреве она препятствует диффузии кислорода к металлической плёнке, необходимого для процесса её окисления. Однако неоднородность при напылении таких тонких плёнок может не позволить достичь предельных теоретических значений вышеописанных параметров. IX Международная конференция и молодёжная школа «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2023) Секция 1. Компьютерная оптика и нанофотоника 010482 ...
Название : Оптимизация параметров двухслойной пленки Si/Ti для термохимической лазерной записи дифракционных структур
Авторы/Редакторы : Белоусов Д. А.
Куц Р. И.
Корольков В. П.
Дата публикации : 2023
Библиографическое описание : Белоусов, Д. А. Оптимизация параметров двухслойной пленки Si/Ti для термохимической лазерной записи дифракционных структур / Д. А. Белоусов, Р. И. Куц, В. П. Корольков // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2023) : сб. тр. по материалам IX Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 17-23 апр. 2023 г.): в 6 т. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изобр. РАН - Фил. Федер. науч.-исслед. центра "Кристаллография и фотоника" Рос. акад. наук. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2023Т. 1: Компьютерная оптика и нанофотоника / под ред. Е. С. Козловой. - 2023. - С. 010482.
Аннотация : В работе представлены результаты оптимизации толщины антиотражающего слоя Si, напыляемого на пленку Ti. Показано, что использованиеантиотражающего слоя кремния позволяет, помимо защиты металлической пленки от окисления в воздушной атмосфере, существенно повысить поглощение лазерного излучения на длинах волн 375 нм, 405 нм и 532 нм для задач термохимической лазерной записи на двухслойных пленках Si/Ti дифракционных структур.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Optimizaciya-parametrov-dvuhsloinoi-plenki-SiTi-dlya-termohimicheskoi-lazernoi-zapisi-difrakcionnyh-struktur-105568
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\541253
Ключевые слова: антиотражающие покрытия
дифракционная оптика
многослойные пленки
термохимические технологии
тонкие пленки металлов
прямая лазерная запись
Располагается в коллекциях: Информационные технологии и нанотехнологии

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-7883-1917-9_2023-010482.pdf283.87 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.