Отрывок: Чем тоньше поверхностная плёнка Si, тем меньше при лазерном термохимическом нагреве она препятствует диффузии кислорода к металлической плёнке, необходимого для процесса её окисления. Однако неоднородность при напылении таких тонких плёнок может не позволить достичь предельных теоретических значений вышеописанных параметров. IX Международная конференция и молодёжная школа «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2023) Секция 1. Компьютерная оптика и нанофотоника 010482 ...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorБелоусов Д. А.ru
dc.contributor.authorКуц Р. И.ru
dc.contributor.authorКорольков В. П.ru
dc.coverage.spatialантиотражающие покрытияru
dc.coverage.spatialдифракционная оптикаru
dc.coverage.spatialмногослойные пленкиru
dc.coverage.spatialтермохимические технологииru
dc.coverage.spatialтонкие пленки металловru
dc.coverage.spatialпрямая лазерная записьru
dc.creatorБелоусов Д. А., Куц Р. И., Корольков В. П.ru
dc.date.accessioned2023-10-02 09:45:28-
dc.date.available2023-10-02 09:45:28-
dc.date.issued2023ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\541253ru
dc.identifier.citationБелоусов, Д. А. Оптимизация параметров двухслойной пленки Si/Ti для термохимической лазерной записи дифракционных структур / Д. А. Белоусов, Р. И. Куц, В. П. Корольков // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2023) : сб. тр. по материалам IX Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 17-23 апр. 2023 г.): в 6 т. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изобр. РАН - Фил. Федер. науч.-исслед. центра "Кристаллография и фотоника" Рос. акад. наук. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2023Т. 1: Компьютерная оптика и нанофотоника / под ред. Е. С. Козловой. - 2023. - С. 010482.ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Optimizaciya-parametrov-dvuhsloinoi-plenki-SiTi-dlya-termohimicheskoi-lazernoi-zapisi-difrakcionnyh-struktur-105568-
dc.description.abstractВ работе представлены результаты оптимизации толщины антиотражающего слоя Si, напыляемого на пленку Ti. Показано, что использованиеантиотражающего слоя кремния позволяет, помимо защиты металлической пленки от окисления в воздушной атмосфере, существенно повысить поглощение лазерного излучения на длинах волн 375 нм, 405 нм и 532 нм для задач термохимической лазерной записи на двухслойных пленках Si/Ti дифракционных структур.ru
dc.language.isorusru
dc.relation.ispartofИнформационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2023) : сб. тр. по материалам IX Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 17-23 апр. 2023 г.): в 6ru
dc.sourceИнформационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2023). - Т. 1 : Компьютерная оптика и нанофотоникаru
dc.titleОптимизация параметров двухслойной пленки Si/Ti для термохимической лазерной записи дифракционных структурru
dc.typeTextru
dc.citation.spage010482ru
dc.citation.volume1ru
dc.textpartЧем тоньше поверхностная плёнка Si, тем меньше при лазерном термохимическом нагреве она препятствует диффузии кислорода к металлической плёнке, необходимого для процесса её окисления. Однако неоднородность при напылении таких тонких плёнок может не позволить достичь предельных теоретических значений вышеописанных параметров. IX Международная конференция и молодёжная школа «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2023) Секция 1. Компьютерная оптика и нанофотоника 010482 ...-
Располагается в коллекциях: Информационные технологии и нанотехнологии

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-7883-1917-9_2023-010482.pdf283.87 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.