Отрывок: б в г д Рисунок 3 - Вид поверхности исследуемых подложек, полученный на сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ) Solver PRO-M фирмы ”НТ-МДТ” а,б - изображение и профилограмма исходной поверхности, соответственно; в - микрофотография исследуемой поверхности (1 – при нагрузке подложки-зонда на исследуемую поверхность 0,2кг; 2 – 0,3 кг); г- профилограмма в области участка 2; д – АСМ изображение исследуемой...
Название : | Разработка приборов анализа и повышения степени чистоты поверхности диоксида кремния |
Авторы/Редакторы : | Кричевский С. В. Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева Российская академия наук |
Дата публикации : | 2008 |
Библиографическое описание : | Кричевский, С. В. Разработка приборов анализа и повышения степени чистоты поверхности диоксида кремния [Электронный ресурс] : автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.01 / С. В. Кричевский ; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Ин-т систем обраб. изображений РАН. - Самара, 2008. - on-line |
Аннотация : | Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия) Используемые программы: Adobe Acrobat |
Другие идентификаторы : | RU/НТБ СГАУ/WALL/Автореф/К 828-389305 |
Ключевые слова: | диоксид кремния экспериментальная физика приборы анализа и повышения степени чистоты поверхности |
Располагается в коллекциях: | Авторефераты |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Кричевский С.В.pdf | 4.65 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.