Репозиторий Самарского университета

Отрывок: Если на исходной поверхности присутствует пленка масла и она обладает гидрофобными свойствами (показания СЗМ 3 нм), то поело финишной очистки поверхность обладает гидрофильными свойствами, поэтому она активно адсорбирует воду, и толщина слоя при этом, с учетом капилярного эффекта [7], соответствует показаниям СЗМ Solver PRO-M, равным 20 нм. Данные показания получены с помощью пакетов прикладных программ, используемых в комплекте с прибором. Следовательно, можно сделат...

Название :	Анализ достоверности метода оценки чистоты поверхности твердых тел, бомбардируемой отрицательными частицами внеэлектродного газового разряда
Авторы/Редакторы :	Колпаков В. А. Колпаков А. И. Кричевский С. В.
Дата публикации :	2009
Библиографическое описание :	Колпаков, В. А. Анализ достоверности метода оценки чистоты поверхности твердых тел, бомбардируемой отрицательными частицами внеэлектродного газового разряда / В. А. Колпаков, А. И. Колпаков, С. В. Кричевский // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. М. Н. Пиганова. - Самара : Изд-во СГАУ, 2009. - [Ч. 1]. - С. 165-170.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) :	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Analiz-dostovernosti-metoda-ocenki-chistoty-poverhnosti-tverdyh-tel-bombardiruemoi-otricatelnymi-chasticami-vneelektrodnogo-gazovogo-razryada-110732
Другие идентификаторы :	RU\НТБ СГАУ\559380
Ключевые слова:	диоксид кремния интегральные микросхемы метод оценки чистоты поверхности органические загрязнения подложек плазма внеэлектродного газового разряда плазменная финишная очистка
Располагается в коллекциях:	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.