Отрывок: Если на исходной поверхности присутствует пленка масла и она обладает гидрофобными свойствами (показания СЗМ 3 нм), то поело финишной очистки поверхность обладает гидрофильными свойствами, поэтому она активно адсорбирует воду, и толщина слоя при этом, с учетом капилярного эффекта [7], соответствует показаниям СЗМ Solver PRO-M, равным 20 нм. Данные показания получены с помощью пакетов прикладных программ, используемых в комплекте с прибором. Следовательно, можно сделат...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorКолпаков В. А.ru
dc.contributor.authorКолпаков А. И.ru
dc.contributor.authorКричевский С. В.ru
dc.coverage.spatialдиоксид кремнияru
dc.coverage.spatialинтегральные микросхемыru
dc.coverage.spatialметод оценки чистоты поверхностиru
dc.coverage.spatialорганические загрязнения подложекru
dc.coverage.spatialплазма внеэлектродного газового разрядаru
dc.coverage.spatialплазменная финишная очисткаru
dc.creatorКолпаков В. А., Колпаков А. И., Кричевский С. В.ru
dc.date.accessioned2024-09-03 11:28:40-
dc.date.available2024-09-03 11:28:40-
dc.date.issued2009ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\559380ru
dc.identifier.citationКолпаков, В. А. Анализ достоверности метода оценки чистоты поверхности твердых тел, бомбардируемой отрицательными частицами внеэлектродного газового разряда / В. А. Колпаков, А. И. Колпаков, С. В. Кричевский // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. М. Н. Пиганова. - Самара : Изд-во СГАУ, 2009. - [Ч. 1]. - С. 165-170.ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Analiz-dostovernosti-metoda-ocenki-chistoty-poverhnosti-tverdyh-tel-bombardiruemoi-otricatelnymi-chasticami-vneelektrodnogo-gazovogo-razryada-110732-
dc.language.isorusru
dc.relation.ispartofАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. - Текст : электронныйru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций. - [Ч. 1]ru
dc.titleАнализ достоверности метода оценки чистоты поверхности твердых тел, бомбардируемой отрицательными частицами внеэлектродного газового разрядаru
dc.typeTextru
dc.citation.epage170ru
dc.citation.spage165ru
dc.textpartЕсли на исходной поверхности присутствует пленка масла и она обладает гидрофобными свойствами (показания СЗМ 3 нм), то поело финишной очистки поверхность обладает гидрофильными свойствами, поэтому она активно адсорбирует воду, и толщина слоя при этом, с учетом капилярного эффекта [7], соответствует показаниям СЗМ Solver PRO-M, равным 20 нм. Данные показания получены с помощью пакетов прикладных программ, используемых в комплекте с прибором. Следовательно, можно сделат...-
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-7883-0672-8_2009-165-170.pdf318.23 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.