Отрывок: Для разбавления и обеспечения требуемых параметров травления в плазму дополнительно вводят аргон, кислород, азот. Схема плазмохимического травления представлена на рисунке 11. Рисунок 11 – Схема плазмохимического травления Основными рабочими параметрами, определяющими характеристики процесса плазменного травления, являются: 30 1. Мощность, вкладываемая в разряд; 2. Рабочее давление; 3. Расход газа и способ его подвода к обрабатываемой поверхно...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Иванова А. С. | ru |
dc.contributor.author | Павельев В. С. | ru |
dc.contributor.author | Шишкина Д. А. | ru |
dc.contributor.author | Министерство образования и науки России | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт информатики | ru |
dc.contributor.author | математики и электроники | ru |
dc.coverage.spatial | генетический алгоритм | ru |
dc.coverage.spatial | дифракционные оптические элементы | ru |
dc.coverage.spatial | многопорядковый двумерный делитель пучка | ru |
dc.coverage.spatial | стохастическая оптимизация | ru |
dc.coverage.spatial | энергетическая эффективность | ru |
dc.creator | Иванова А. С. | ru |
dc.date.issued | 2021 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20210913164921 | ru |
dc.identifier.citation | Иванова, А. С. Стохастическая оптимизация и исследование многопорядкового двумерного делителя пучка : вып. квалификац. работа по по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. С. Иванова ; рук. работы В. С. Павельев ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; Минобрнауки России. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фак-т эл. - Самара, 2021. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Объектом исследования являются методы создания многопорядковых делителей лазерного пучка. Цель работы –стохастическая оптимизация и исследование многопорядкового бинарного делителя 7х7 пучка. Задачи: 1.Анализ методов расчета дифракционных делителей пучка; 2.Анализ технологий изготовления дифракционных делителей пучка; 3. Оптимизация многопорядкового бинарного делителя 7х7 пучка; 4. Исследование многопорядкового бинарного делителя 7х7 пучка. Рассчитан и исследован методами компьютерного моделирования и оптического эксперимента дифракционный делитель 7х7 пучка . Результаты численного моделирования и экспериментального исследования находятся во взаимном качественном соответствии. | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 1,9 Мб) | ru |
dc.title | Стохастическая оптимизация и исследование многопорядкового двумерного делителя пучка | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 29.31 | ru |
dc.subject.udc | 535.42 | ru |
dc.textpart | Для разбавления и обеспечения требуемых параметров травления в плазму дополнительно вводят аргон, кислород, азот. Схема плазмохимического травления представлена на рисунке 11. Рисунок 11 – Схема плазмохимического травления Основными рабочими параметрами, определяющими характеристики процесса плазменного травления, являются: 30 1. Мощность, вкладываемая в разряд; 2. Рабочее давление; 3. Расход газа и способ его подвода к обрабатываемой поверхно... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Иванова_Анастасия_Сергеевна_Стохастическая_оптимизация_исследование.pdf | 1.93 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.