Отрывок: 1V и 2.2А~ 16,6 нм в секунду. Толщина наращиваемого слоя 10 мкм, время наращивания 10 минут. 5. Травление стекла. В качестве вещества травителя стекла используется HF концентрации равной 49%. Травление производится в полимерной емкости. Время Рисунок 24 – Фотошаблон для процесса экспонирования 47 травления 2 минуты. Остановка травления осуществляется помещением образца в поток деионизированной воды. 6. Удаление маскирующих слоев травителями Cu и Cr соответственно. В ре...
Название : | Планарные микрофлюидные системы капиллярного типа на стеклянных подложках |
Авторы/Редакторы : | Миланина К. И. Агафонов А. Н. Шишкина Д. А. Коныгин С. Б. Министерство науки и высшего образования Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2021 |
Библиографическое описание : | Миланина, К. И. Планарные микрофлюидные системы капиллярного типа на стеклянных подложках : вып. квалификац. работа по направлению подгот 03.04.01 (уровень магистратуры) / К. И. Миланина ; рук. работы А. Н. Агафонов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; рец. С. Б. Коныгин ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-. - Самара, 2021. - on-line |
Аннотация : | Цель выпускной квалификационной работы (ВКР) – разработка комплекса технологических решений для контрактного производства микрофлюидных устройств с высокой экономической эффективностью. Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи: 1) провести анализ мирового рынка микрофлюидных устройств и выявить основные тренды и ключевые факторы развития; 2) провести анализ существующих технологических решений по изготовлению микрофлюидных устройств для различных областей применения, выявить основные технико-экономические проблемы; 3) разработать комплекс технологических решений по изготовлению микрофлюидных устройств для различных областей применения, отвечающий потребностям современного рынка; 4) построить математические и компьютерные модели, описывающие некоторые технологические этапы изготовления микрофлюидных устройств; 5) провести испытания микрофлюидных устройств, изготовленных с использованием предложенных технологических решений; 6) разработать бизнес-модель проекта и оценить перспективы к |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20210914140020 |
Ключевые слова: | анодное сращивание бизнес-планы газохроматографическая колонка коммерциализация микрофлюидные устройства планарные микрофлюидные системы капиллярного типа распределение механической нагрузки стеклянные подложки химическое травление |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Миланина_Ксения_Игоревна_Планарные_микрофлюидные_системы_капиллярного.pdf | 4.98 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.