Отрывок: Графитовый изолированный контейнер, в котором находиись горизонтально установленные подложки кремния, обеспечивал равномерный тем- пературный режим. Такое решение позволяло проводить однородный поток газа по всем подложкам. Смесь углеводород...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Шишкин И. А. | ru |
dc.contributor.author | Латухина Н. В. | ru |
dc.contributor.author | Министерство образования и науки России | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Естественнонаучный институт | ru |
dc.coverage.spatial | фоточувствительные структуры | ru |
dc.coverage.spatial | пористый кремний | ru |
dc.coverage.spatial | универсальная электрохимическая ячейка | ru |
dc.coverage.spatial | COMSOL Multiphysics | ru |
dc.creator | Шишкин И. А. | ru |
dc.date.issued | 2020 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20201126114555 | ru |
dc.identifier.citation | Шишкин, И. А. Моделирование процесса изготовления фоточувствительных структур на базе пористого кремния : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.04.02 "Физика" (уровень магистратуры) / И. А. Шишкин ; рук. работы Н. В. Латухина ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. ин-т, Физ. фак-т, Каф. физики тверд. тела и неравновес. сист. - Самара, 2020. - on-line | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 18,8 Мб) | ru |
dc.title | Моделирование процесса изготовления фоточувствительных структур на базе пористого кремния | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 29.29 | ru |
dc.subject.udc | 539.1 | ru |
dc.textpart | Графитовый изолированный контейнер, в котором находиись горизонтально установленные подложки кремния, обеспечивал равномерный тем- пературный режим. Такое решение позволяло проводить однородный поток газа по всем подложкам. Смесь углеводород... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Шишкин_Иван_Александрович_Моделирование_процесса_изготовления_фоточувствительных.pdf | 19.25 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.