Отрывок: 2 Нанесение тонких пленок с помощью жидких растворов  Золь - гель метод. Метод золь - гель технологии основан на реакции гидролиза ряда органических и неорганических соединений в спиртовых растворах в присутствии незначительного количества воды. Гидролиз частично протекает в растворе с образованием прозрачных, устойчивых во времени золей и завершается в тонком слое на поверхности стекла с выделением нерастворимых оксидных соединений в виде прозрачных слоѐв геля [11]. Технологический...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorСтарикова О. В.ru
dc.contributor.authorПаранин В. Д.ru
dc.contributor.authorСаноян А. Г.ru
dc.contributor.authorМинобрнауки Россииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialреактивное распылениеru
dc.coverage.spatialэллипсометрияru
dc.coverage.spatialвакуумru
dc.coverage.spatialантиотражающее покрытиеru
dc.coverage.spatialкоэффициент отраженияru
dc.coverage.spatialмагнетронное напылениеru
dc.coverage.spatialпросветляющее покрытиеru
dc.coverage.spatialспектроскопияru
dc.creatorСтарикова О. В.ru
dc.date.issued2019ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20190807154536ru
dc.identifier.citationСтарикова, О. В. Исследование технологии нанесения антиотражающего покрытия с помощью реактивного магнетронного распыления : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / О. В. Старикова ; рук. работы В. Д. Паранин ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Ф. - Самаpа, 2019. - on-lineru
dc.description.abstractВ данной выпускной квалификационной работе разработана технология нанесения антиотражающего покрытия с помощью реактивного магнетронного распыления. Объектом исследования является кремниевая пластина, на поверхность которой нанесѐн слой диоксида кремния.ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 2,2 Мб)ru
dc.titleИсследование технологии нанесения антиотражающего покрытия с помощью реактивного магнетронного распыленияru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti55.22ru
dc.subject.udc621.793.7ru
dc.textpart2 Нанесение тонких пленок с помощью жидких растворов  Золь - гель метод. Метод золь - гель технологии основан на реакции гидролиза ряда органических и неорганических соединений в спиртовых растворах в присутствии незначительного количества воды. Гидролиз частично протекает в растворе с образованием прозрачных, устойчивых во времени золей и завершается в тонком слое на поверхности стекла с выделением нерастворимых оксидных соединений в виде прозрачных слоѐв геля [11]. Технологический...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Старикова_Оксана_Владимировна_Исследование_технологии_нанесения_антиотражающего.pdf2.28 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.