Отрывок: 16 Рисунок 4 - Схематическое изображение интерференционного микроскопа с объективом Мирау 3 Процессы травления и их применение в микроструктурировании 3.1 Жидкостное травление Жидкостное травление имеет ряд недостатков. Прежде всего в таком течении доводится иметь дело с разнообразными вредоносными химически активными веществами. Произ...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Федоренко А. В. | ru |
dc.contributor.author | Харитонов С. И. | ru |
dc.contributor.author | Министерство науки и высшего образования Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.coverage.spatial | интерферометрия белого света | ru |
dc.coverage.spatial | скорость травления | ru |
dc.coverage.spatial | сухое изотропное травление кремния | ru |
dc.creator | Федоренко А. В. | ru |
dc.date.issued | 2021 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20210914145910 | ru |
dc.identifier.citation | Федоренко, А. В. Исследование параметров сухого изотропного травления кремния : вып. квалификац. работа по по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. В. Федоренко ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатик. - Самара, 2021. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Объектом исследования является реактивно-ионное травление кремниячерез мягкие маски на основе фоторезистов марок ФП-3520 и ФП-051-КИ.Цель работы – экспериментально определить зависимость скоростисухого изотропного травления кремния от параметров процесса травления.В результате работы был произведен обзор литературы, а именнометодов литографии, травления, измерения глубины травления. Былипроизведены литографические процессы, травление кремния через маскиреактивно-ионным методом. Проведен анализ полученных данных. Былиисследованы параметры сухого изотропного травления кремния.Практическая ценность работы заключается в возможности дальнейшейоптимизации параметров реактивно-ионного процесса при измененииглобальных параметров: давление в камере, ICP мощность, процент открытойплощади, температура подложки; параметров шага травления: расход SF 6 ,напряжение смещения, время травления и параметров осаждения: расход C 4 F 8 ,напряжение смещения, время осаждения. | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 1,3 Мб) | ru |
dc.title | Исследование параметров сухого изотропного травления кремния | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 55.03 | ru |
dc.subject.udc | 621.794.4 | ru |
dc.textpart | 16 Рисунок 4 - Схематическое изображение интерференционного микроскопа с объективом Мирау 3 Процессы травления и их применение в микроструктурировании 3.1 Жидкостное травление Жидкостное травление имеет ряд недостатков. Прежде всего в таком течении доводится иметь дело с разнообразными вредоносными химически активными веществами. Произ... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Федоренко_Алексей_Владимирович_Исследование_параметров_сухого_изотропного.pdf | 1.31 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.