Отрывок: 2.3 Процессы травления и их применение в микроструктурировании Технологии травления можно разделить на две группы: жидкостное (влажное) и сухое. 2.3.1 Жидкостное травление В зависимости от вида материала, состава травителя и условий травления принято различать два механизма жидкостного травления: электрохимический и химический. 24 ...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Гзиришвили Н. Г. | ru |
dc.contributor.author | Харитонов С. И. | ru |
dc.contributor.author | Шишкина Д. А. | ru |
dc.contributor.author | Министерство науки и высшего образования Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт информатики | ru |
dc.contributor.author | математики и электроники | ru |
dc.coverage.spatial | BOSCH процессы | ru |
dc.coverage.spatial | интерферометрия белого света | ru |
dc.coverage.spatial | магнетронное распыление | ru |
dc.coverage.spatial | плазмохимическое травление | ru |
dc.coverage.spatial | сухое травление кремния | ru |
dc.coverage.spatial | твердые маски | ru |
dc.coverage.spatial | фотолитография | ru |
dc.creator | Гзиришвили Н. Г. | ru |
dc.date.issued | 2021 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20210914151233 | ru |
dc.identifier.citation | Гзиришвили, Н. Г. Исследование особенностей и селективности сухого травления кремния с использованием твердых масок : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Н. Г. Гзиришвили ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информати. - Самара, 2021. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Объектом исследования является сухое травление кремния черезтвердые маски алюминия и хрома.Цель работы – исследование особенностей и селективности сухоготравления кремния с использованием твердых масок.В ходе выполнения работы были исследованы возможные методынанесения тонкопленочного покрытия; исследованы методы травлениякремния; исследованы способы измерения глубины травления. Проведенасерия экспериментов по нанесению маскирующего покрытия методоммагнетронного распыления и травлению пластин кремния методом Bosch-процесса. Сделан анализ полученных экспериментальных данных.Определена селективность и особенности исследуемых тонкопленочныхпокрытий.Практический результат работы состоит в выявлении особенностей иселективности сухого травления кремния с использованием твердых масок сцелью дальнейшего определения оптимальной толщины маски длявыполнения травления в заданных условиях на заданную глубину. | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 5,0 Мб) | ru |
dc.title | Исследование особенностей и селективности сухого травления кремния с использованием твердых масок | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 55.03 | ru |
dc.subject.udc | 621.794.4 | ru |
dc.textpart | 2.3 Процессы травления и их применение в микроструктурировании Технологии травления можно разделить на две группы: жидкостное (влажное) и сухое. 2.3.1 Жидкостное травление В зависимости от вида материала, состава травителя и условий травления принято различать два механизма жидкостного травления: электрохимический и химический. 24 ... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Гзиришвили_Николай_Георгиевич_Исследование_особенностей_селективности.pdf | 5.08 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.