Отрывок: Вся дополировка производилась вручную в течение 5-10 минут. Внешний вид поверхности пластин из нержавеющей стали после полировки приведен на рис. 3.7. 27 Рисунок 3.7 - Пластины из нержавеющей стали после полировки Контроль плоскостности проводился при помощи цифрового интерферометрического комплекса Verifire (Zygo, Германия) (рис. 3.8) для кремневой пластины и с помощью интерференционной пластины для элемента из нержавеющей стали. На рисунке 3.9 можно увидеть результа...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorДавыденко В. В.ru
dc.contributor.authorПавельев В. С.ru
dc.contributor.authorШишкин С. А.ru
dc.contributor.authorСаноян А. Г.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.coverage.spatialгазохромотографическая колонкаru
dc.coverage.spatialлитографияru
dc.coverage.spatialБесселевы пучкиru
dc.coverage.spatialаксиконru
dc.coverage.spatialмикрофлюидикаru
dc.coverage.spatialмикросистемная техникаru
dc.creatorДавыденко В. В.ru
dc.date.issued2017ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20190402141649ru
dc.identifier.citationДавыденко, В. В. Исследование методов расчета и изготовления элементов микросистемной техники : вып. квалификац. работа магистра по направлению "Прикладные математика и физика" / В. В. Давыденко ; рук. работы В. С. Павельев ; рец. С. А. Шишкин ; нормоконтролѐр А. Г. Саноян ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева , Ин-т информатик. - Самаpа, 2017. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектом исследования являются элементы микросистемной техники – микрофлюидные газохроматографические колонки и дифракционные элементы инфракрасного (ИК) диапазона.Цели работы: • Создание компактных колонок для быстрого газохроматографического анализа на основе методов микрофлюидики; • Создание элементов микрооптики, формирующих бездифракционные пучки инфракрасного (ИК) диапазона. Разработан метод полировки пластин из кремния и нержавеющей стали с оптическим качеством для изготовления элементов микросистемной техники. Рассчитан фотошаблон бинарного дифракционного аксикона. Разработана технология изготовления отражающих элементов ИК-диапазона и изготовлен дифракционный отражающий аксикон для формирования бесселевых пучков в ИК области спектра. Проведено исследование изготовленного элемента методами численного и натурного эксперимента.ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 2,2 Мб)ru
dc.titleИсследование методов расчета и изготовления элементов микросистемной техникиru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti29.31.29ru
dc.subject.udc535.42ru
dc.textpartВся дополировка производилась вручную в течение 5-10 минут. Внешний вид поверхности пластин из нержавеющей стали после полировки приведен на рис. 3.7. 27 Рисунок 3.7 - Пластины из нержавеющей стали после полировки Контроль плоскостности проводился при помощи цифрового интерферометрического комплекса Verifire (Zygo, Германия) (рис. 3.8) для кремневой пластины и с помощью интерференционной пластины для элемента из нержавеющей стали. На рисунке 3.9 можно увидеть результа...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Давыденко_Вадим_Викторович_Исследование_методов_расчета.pdf2.27 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.