Отрывок: В этой связи, в рамках рассматриваемой работы, разработаны ме­ тоды моделирования процесса химического травления, основанные на исполь­ зовании вероятностных клеточных автоматов (ВКА). Проведено компьютерное моделирование процессов химического трав­ ления кремния с учетом влияния адсорбционно-десорбционных и диффузион­ ных процессов, в результате которого получены профил...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorЛачин М. А.ru
dc.contributor.authorСаноян А. Г.ru
dc.coverage.spatialрадиоэлектронные средстваru
dc.coverage.spatialтравление кремнияru
dc.coverage.spatialтравление оксидных пленокru
dc.coverage.spatialхимическое травлениеru
dc.coverage.spatialкомпьютерное моделированиеru
dc.coverage.spatialмоделирование технологических процессовru
dc.coverage.spatialпроцесс химического травленияru
dc.creatorЛачин М. А.ru
dc.date.issued2005ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\458677ru
dc.identifier.citationЛачин, М. А. Компьютерное моделирование процесса химического травления микроструктур / М. А. Лачин ; науч. руководитель А. Г. Саноян // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет.- косм. центр "ЦСКБ - Прогресс"; ред. И. В. Белоконов. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 252.ru
dc.sourceVIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. - Текст : электронныйru
dc.titleКомпьютерное моделирование процесса химического травления микроструктурru
dc.typeTextru
dc.citation.spage252ru
dc.textpartВ этой связи, в рамках рассматриваемой работы, разработаны ме­ тоды моделирования процесса химического травления, основанные на исполь­ зовании вероятностных клеточных автоматов (ВКА). Проведено компьютерное моделирование процессов химического трав­ ления кремния с учетом влияния адсорбционно-десорбционных и диффузион­ ных процессов, в результате которого получены профил...-
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр. 252.pdf46.76 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.