Отрывок: Структурное совершенство получаемых пленок зависит от состава исходной мишени, параметров распыления и состояния поверхности подложки. Среди методов измерения электрофизических параметров структур карбида кремния на кремнии особый интерес представляют бесконтактные СВЧ и оптические методы, так как позволяют быстро получить информацию, необходимую для корректировки параметров процесса получения пленок. Библиографический список 1. Лучинин В., Таиро...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Танеев А. В. | ru |
dc.contributor.author | Щербак А. В. | ru |
dc.coverage.spatial | гетероструктуры SiC/Si | ru |
dc.coverage.spatial | карбид кремния SiC | ru |
dc.coverage.spatial | метод магнетронного распыления | ru |
dc.coverage.spatial | пленки карбида кремния | ru |
dc.coverage.spatial | эндотаксия | ru |
dc.creator | Танеев А. В., Щербак А. В. | ru |
dc.date.accessioned | 2021-11-30 10:10:34 | - |
dc.date.available | 2021-11-30 10:10:34 | - |
dc.date.issued | 2021 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\471408 | ru |
dc.identifier.citation | Танеев, А. В. Электрофизические параметры гетероструктур SIC/SI, полученных методом магнетронного распыления. - Текст : электронный / А. В. Танеев, А. В. Щербак // XVI Королевские чтения : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 60-летию полета в космос Ю. А. Гагарина : сб. материалов : 5-7 окт. 2021 г. : в 3 т. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; [науч. ред. М. А. Шлеенков]. - 2021. - Т. 1. - С. 375-376 | ru |
dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/handle/Mezhdunarodnaya-molodezhnaya-nauchnaya-konferenciya-Korolevskie-chteniya/Elektrofizicheskie-parametry-geterostruktur-SICSI-poluchennyh-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-92987 | - |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.relation.ispartof | XVI Королевские чтения : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 60-летию полета в космос Ю. А. Гагарина : сб. материалов : 5-7 окт. 2021 г. : в 3 т. | ru |
dc.source | XVI Королевские чтения. - Т. 1 | ru |
dc.title | Электрофизические параметры гетероструктур SIC/SI, полученных методом магнетронного распыления | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.citation.epage | 376 | ru |
dc.citation.spage | 375 | ru |
dc.citation.volume | 1 | ru |
dc.textpart | Структурное совершенство получаемых пленок зависит от состава исходной мишени, параметров распыления и состояния поверхности подложки. Среди методов измерения электрофизических параметров структур карбида кремния на кремнии особый интерес представляют бесконтактные СВЧ и оптические методы, так как позволяют быстро получить информацию, необходимую для корректировки параметров процесса получения пленок. Библиографический список 1. Лучинин В., Таиро... | - |
Располагается в коллекциях: | Королевские чтения |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
978-5-7883-1668-0_2021-375-376.pdf | 602.95 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.