Отрывок: Скорость осаждения материала на подложки зависит от мощности магнетронного распылителя. Наибольшая скорость распыления достигается при давлении аргона 6,65-10-1...2,66-10-1 Па. Для поддержания оптимальной скорости распыления рекомендуется работа в диапазоне от 7,5А и 370В до 12А и 260В. Ток магнетронного распылителя при заданном напряжении питания на него поддерживается с помощью блоков стабилизации тока разряда (БСТР) путем изменения давлен...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Архипов А. В. | ru |
dc.contributor.author | Дмитриев В. Д. | ru |
dc.contributor.author | Волков А. В. | ru |
dc.contributor.author | Лофицкий И. В. | ru |
dc.contributor.author | Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева | ru |
dc.coverage.spatial | О1НИ-7-006 (агрегат непрерывного действия) | ru |
dc.coverage.spatial | узлы агрегатов непрерывного действия | ru |
dc.coverage.spatial | блоки агрегатов непрерывного действия | ru |
dc.coverage.spatial | нанесение материалов на подложку | ru |
dc.coverage.spatial | технология нанесения слоев | ru |
dc.coverage.spatial | агрегаты непрерывного действия | ru |
dc.coverage.spatial | магнетронное распыление материалов | ru |
dc.coverage.spatial | метод магнетронного распыления материалов | ru |
dc.date.issued | 2001 | ru |
dc.identifier | RU/НТБ СГАУ/WALL/СГАУ:6/И 395-577740 | ru |
dc.identifier.citation | Изучение оборудования и технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов [Электронный ресурс] : метод. указания к лаб. работе / Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. А. В. Архипов и др. - Самара, 2001. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия) | ru |
dc.description.abstract | Приведены теоретические сведения по технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов. Описаны основные узлы и блоки агрегата непрерывного действия типа О1НИ-7-006, а также порядок работы на нем для приобретения практических навык | ru |
dc.description.abstract | Используемые программы: Adobe Acrobat | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 909 Кбайт) | ru |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.relation.isformatof | Изучение оборудования и технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов [Текст] : метод. указания к лаб. работе | ru |
dc.title | Изучение оборудования и технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 55.22 | ru |
dc.subject.udc | 621.793.7:621.385.64(075) | ru |
dc.subject.udc | СГАУ:6(075) | ru |
dc.textpart | Скорость осаждения материала на подложки зависит от мощности магнетронного распылителя. Наибольшая скорость распыления достигается при давлении аргона 6,65-10-1...2,66-10-1 Па. Для поддержания оптимальной скорости распыления рекомендуется работа в диапазоне от 7,5А и 370В до 12А и 260В. Ток магнетронного распылителя при заданном напряжении питания на него поддерживается с помощью блоков стабилизации тока разряда (БСТР) путем изменения давлен... | - |
Располагается в коллекциях: | Методические издания |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Архипов А.В. Изучение оборудования.pdf | 5.2 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.