Отрывок:
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorДмитриев В. Д.ru
dc.contributor.authorВолков А. В.ru
dc.contributor.authorМинистерство высшего и среднего специального образования РСФСРru
dc.contributor.authorКуйбышевский авиационный институт им. С. П. Королеваru
dc.coverage.spatialгибридные интегральные схемы (ГИС)ru
dc.coverage.spatialметодические изданияru
dc.coverage.spatialмикросхемыru
dc.coverage.spatialпассивные элементы ГИСru
dc.coverage.spatialфотолиграфические процессыru
dc.date.accessioned2021-12-09 10:49:15-
dc.date.available2021-12-09 10:49:15-
dc.date.issued1982ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\470501ru
dc.identifier.citationИзучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом фотолитографии : метод. указания к лаб. работе № 35. - Текст : электронный / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; [сост. В. Д. Дмитриев, А. В. Волков]. - Куйбышев, 1982. - 1 файл (461,75 Кб)ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-tehnologii-izgotovleniya-passivnyh-elementov-GIS-metodom-fotolitografii-93713-
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobat.ru
dc.description.abstractПредлагаются методы изучения и практического освоения основных операций фотолитографического процесса получения рисунка пассивных элементов ГИС. Исследуется точность изготовления размеров пассивных пленочных элементов. Рекомендуется студентам специальности 0705 при изучении курса "Конструкции и технология микросхем"..ru
dc.description.abstractТруды сотрудников КуАИ (электрон. версия).ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 461,75 КБ)ru
dc.language.isorusru
dc.relation.isformatofИзучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом фотолитографии : метод. указания к лаб. работе № 35. - Текст : непосредственныйru
dc.titleИзучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом фотолитографииru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti47.01ru
dc.subject.udc621.382.049.77.002(075)ru
Располагается в коллекциях: Методические издания

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Дмитриев В.Д. Изучение 1982.pdf470.97 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.