Отрывок: параметры пленок исследовались на про мышленном оборудовании (вакуумные установки типа УВН-2М-1, УВН-2М-2) и с помощью современных измерительных приборов (Е8-4, Р-571, йСТИ-1, КИТ-1, 0ППИР-017 ,■ микроскопы МИЙ-4, УЭМВ-IOOK, электронограф ЭГ-1ООА, установки и спектрометры СФ-4А, ИКС-14, UR -20, ВМР-2)и др. Удельная емкость тонкопленочных конденсаторов на основе/VdflC03 составляла 0,05-0,15 мкф/см2 .при рабочем напряжении I0-I5B. Тангенс угла диэлектрических потерь изменялся в диапазо...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Чернобровкин Д. И. | ru |
dc.contributor.author | Кутолин С. А. | ru |
dc.contributor.author | Волкова В. В. | ru |
dc.contributor.author | Мишанин Н. Д. | ru |
dc.contributor.author | Пиганов М. Н. | ru |
dc.coverage.spatial | диэлектрики емкостных элементов | ru |
dc.coverage.spatial | диэлектрическая проницаемость | ru |
dc.coverage.spatial | интегральные микросхемы | ru |
dc.coverage.spatial | результаты исследований | ru |
dc.coverage.spatial | оптимальные технологические условия | ru |
dc.coverage.spatial | критерии выбора материалов | ru |
dc.coverage.spatial | коэффициент поляронного эффекта | ru |
dc.coverage.spatial | конденсация диэлектрических пленок | ru |
dc.coverage.spatial | энергия активации | ru |
dc.coverage.spatial | электрофизические свойства пленок | ru |
dc.coverage.spatial | ширина запрещенной зоны | ru |
dc.coverage.spatial | тонкопленочные конденсаторы | ru |
dc.creator | Чернобровкин Д. И., Кутолин С. А., Волкова В. В., Мишанин Н. Д., Пиганов М. Н. | ru |
dc.date.issued | 1977 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\550948 | ru |
dc.identifier.citation | Выбор материалов и оптимальных технологических условий конденсации диэлектрических пленок для микросхем / Д. И. Чернобровкин, С. А. Кутолин, В. В. Волкова, Н. Д. Мишанин, М. Н. Пиганов // Исследования по акустике, электрофизике и радиоэлектронике : межвуз. сб. / М-во высш. и сред.спец. образования РСФСР, Куйбышев.авиац. ин-т им. С. П. Королева ; редкол. : Г. В. Абрамов (отв. ред.) [и др.]. - Куйбышев : [КуАИ], 1977. - Вып. 5, 1977. - С. 70-78. | ru |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.relation.ispartof | Исследования по акустике, электрофизике и радиоэлектронике : межвуз. сб. - Текст : электронный | ru |
dc.source | Исследования по акустике, электрофизике и радиоэлектронике. - Вып. 5 | ru |
dc.title | Выбор материалов и оптимальных технологических условий конденсации диэлектрических пленок для микросхем | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.citation.epage | 78 | ru |
dc.citation.spage | 70 | ru |
dc.textpart | параметры пленок исследовались на про мышленном оборудовании (вакуумные установки типа УВН-2М-1, УВН-2М-2) и с помощью современных измерительных приборов (Е8-4, Р-571, йСТИ-1, КИТ-1, 0ППИР-017 ,■ микроскопы МИЙ-4, УЭМВ-IOOK, электронограф ЭГ-1ООА, установки и спектрометры СФ-4А, ИКС-14, UR -20, ВМР-2)и др. Удельная емкость тонкопленочных конденсаторов на основе/VdflC03 составляла 0,05-0,15 мкф/см2 .при рабочем напряжении I0-I5B. Тангенс угла диэлектрических потерь изменялся в диапазо... | - |
Располагается в коллекциях: | Исследования по акустике |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Стр._1977-70-78.pdf | 411.77 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.