Репозиторий Самарского университета

Отрывок: А.Коледов. - М.: Радио и связь, 1989. - 400 с. 3. Сорокин, А.Р. Открытый разряд: структура, развитие, роль фотоэмиссии [Текст] / А.Р.Сорокин //Журнал технической физики. - 1998. - Т.68. - №3. - С.33-38. 4. Сорокин, А.Р. Формирование электронных пучков в открытом разряде [Текст] / А.Р.Сорокин // Письма в Журнал технической физики, - 2000. - Т.26. - Вып.24.-С.89-93. 5. Сорокин. А.Р. Барьерный открытый разряд атмосферного давления [Текст] / А.Р.Сорокин // Письма в Журнал технической физи...

Название :	Влияние нелинейности теплофизических характеристик материала на температуру рабочей поверхности подложки при обработке в плазме открытого разряда
Авторы/Редакторы :	Паранин В. Д.
Дата публикации :	2009
Библиографическое описание :	Паранин, В. Д. Влияние нелинейности теплофизических характеристик материала на температуру рабочей поверхности подложки при обработке в плазме открытого разряда / В. Д. Паранин // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. М. Н. Пиганова. - Самара : Изд-во СГАУ, 2009. - [Ч. 1]. - С. 212-217.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) :	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Vliyanie-nelineinosti-teplofizicheskih-harakteristik-materiala-na-temperaturu-rabochei-poverhnosti-podlozhki-pri-obrabotke-v-plazme-otkrytogo-razryada-110729
Другие идентификаторы :	RU\НТБ СГАУ\559423
Ключевые слова:	материал подложки нелинейность теплофизических характеристик обработка газоразрядной плазмой равномерность обработки температура рабочих поверхностей
Располагается в коллекциях:	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.