Отрывок: I В результате отработки технологии получения защитных пленок и основе А12О3 был выбран следующий оптимальный режим работы ВЧ магнетрона: Вакуум предварительной откачки - нс хуже 1,4-10'6 тор. Давление газовой смеси в рабочей камере - 1,8-10’’ тор. Отношение да...
Название : | Получение и использование диэлектрических пленок двуокиси алюминия (Аl2О3) методом реактивного ВЧ - магнетронного напыления для защиты элементов СВЧ ГИС |
Авторы/Редакторы : | Костюк Г. Ф. Ерендеев Ю. П. |
Дата публикации : | 2005 |
Библиографическое описание : | Костюк, Г. Ф. Получение и использование диэлектрических пленок двуокиси алюминия (Аl2О3) методом реактивного ВЧ - магнетронного напыления для защиты элементов СВЧ ГИС / Г. Ф. Костюк, Ю. П. Ерендеев // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 133-134. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Poluchenie-i-ispolzovanie-dielektricheskih-plenok-dvuokisi-aluminiya-Al2O3-metodom-reaktivnogo-VCh-magnetronnogo-napyleniya-dlya-zashity-elementov-SVCh-GIS-99438 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\487906 |
Ключевые слова: | диэлектрические пленки двуокиси алюминия защита элементов СВЧ ГИС защитные пленки метод реактивного ВЧ-магнетронного напыления металлизированные структуры СВЧ ГИС реактивное ВЧ-магнетронное напыление СВЧ ГИС |
Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Стр.-133-134.pdf | 99.16 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.